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GSS300 高速型 超声扫描显微镜

半导体塑封、贴片与焊接缺陷检测用超声扫描显微镜

产品概述
高性能一体机 ——1000mm/s扫描速度,8m/s²扫描加速度。典型应用场景的扫描效率达到35秒/件,为S100机型的X倍。为大批量中小尺寸工件的快速全检,提供了高性能的解决方案。采用整体焊接框架、主动平衡减振机构,有效降低高加速度引起的机体晃动,提高成像质量。

主要配置:
1、龙门式高速直线电机扫描运动台;
2、主动平衡减震系统;
3、整体焊接框架,提高稳定性;
4、全封闭防护;
5、万能夹具、一键校准、远程协助;
6、自动上下水及水循环净化系统。
 
应用领域
精密器件 ——半导体、集成电路和金刚石等行业高速全检,适用于理化试验室或车间现场。
产品参数
1、工作电源:220V/50Hz,3KW;
2、最大扫描范围: 500mm×330mm×100mm;图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;
3、整机尺寸:1250mm×850mm×1300mm;(标配)
4、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);
5、图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型扫描耗时:≤35s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);
7、最大扫描速度:1000mm/s;最大扫描加速度:8m/s²;
8、运动台定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重复定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采样频率:25~250MHz;(标配,可升级至1.5GHz);
10、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。


 
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