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半导体塑封、贴片与焊接缺陷检测用超声扫描显微镜

发布日期:2020-01-03 | 关注:2031
轻量机型 —— 桌面式、操作与维护简便。采用独特的同步扫描结构,相比于S100机型,大幅降低整机尺寸和重量,仍能保持较高的扫描效率
主要配置:
1、轻量化扫描机头;
2、桌面式一体化整机;
3、全封闭防护;

4、万能夹具、一键校准、远程协助。
 应用领域
高效率—— 根据20/80原则,车间现场80%的批量工件仅需做常规快速抽检,不需要做详细分析,因此可以使用S400机型达到快速检测。用于半导体、集成电路、低压电器等行业的生产线的制程管控。适用于车间现场或小型理化实验室。
产品参数
1、工作电源:220V/50Hz,1KW;
2、最大扫描范围:200mm×100mm×100mm;
3、整机尺寸:400mm×500mm×500mm;(标配)
4、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);
5、推荐图像分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型扫描耗时:<45s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);
7、最大扫描速度:300mm/s;最大扫描加速度:5m/s²;
8、运动台定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重复定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采样频率:25~250MHz;(标配,可升级至1.5GHz);
10、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);
11、脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。

产品概述
经典款——检测精度高,并在扫描范围、运动性能、整机尺寸等各方面均衡配置,适合中小零件的抽样检测,失效分析,工艺改进,材料定性分析。配置自动上下水及水循环过滤系统 ,可用于车间或者理化实验室。

主要配置:

  1. 高度集成的设计理念;
  2. 悬臂式三轴运动台、全封闭防护;
  3. 万能夹具、一键校准、远程协助等;
  4. 自动上下水及水循环净化系统;
应用领域
通用型——经过了6代迭代优化,设计成熟,满足半导体、集成电路、IGBT模组、低压电器、金刚石刀具等多个行业的普遍应用需求。

产品参数
1、工作电源:220V/50Hz,2KW;
2、最大扫描范围:350mm×200mm×110mm;
3、整机尺寸:1350mm×950mm×1300mm;
4、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);
5、图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型扫描耗时:<70s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);
7、最大扫描速度: 300mm/s;最大扫描加速度:0.8m/s²;
8、运动台定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重复定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm;

9、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。

产品概述
大型机—— 扫描面积相对于S100机型扩大8~16倍。适用于中大型工件的检测。配以设置好的程序,极少的操作步骤可大幅提升检测效率。
适合车间现场生产制程控制和产品全检。


主要配置:
1、根据被测工件的尺寸可调整检测区域尺寸;
2、龙门三轴运动台、全封闭防护;
3、万能夹具、一键校准、远程协助等;
4、自动上下水及水循环净化系统;
5、可调节检测底板以适应不同高度的工件检测。


应用范围
中大型工件 —在真空钎焊水冷散热板、碳纤维复合材料、低压电器大型焊接组件等领域,都有重要的应用。

产品参数
1、工作电源:220V±10%/50Hz,3KW;
2、最大扫描范围:900mm×600mm×250mm(S200S)、
1500mm×1200mm×500mm(S200L);
3、整机尺寸:1800×1300×1550(S200S);3000×4500×2600(S200L); 
4、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);
5、图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;

6、典型扫描耗时:<60s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);
7、最大扫描速度:500mm/s;最大扫描加速度:3m/s²;
8、运动台定位精度:X/Y向<±1um,Z向<±10um;重复定位精度:
X/Y向<±0.02mm,Z向<±0.02mm;
9、采样频率:25~250MHz;(标配,可升级至1.5GHz);
10、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);
11、脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。

产品概述
高性能一体机 ——1000mm/s扫描速度,8m/s²扫描加速度。典型应用场景的扫描效率达到35秒/件,为S100机型的X倍。为大批量中小尺寸工件的快速全检,提供了高性能的解决方案。采用整体焊接框架、主动平衡减振机构,有效降低高加速度引起的机体晃动,提高成像质量。

主要配置:
1、龙门式高速直线电机扫描运动台;
2、主动平衡减震系统;
3、整体焊接框架,提高稳定性;
4、全封闭防护;
5、万能夹具、一键校准、远程协助;
6、自动上下水及水循环净化系统。
 
应用领域
精密器件 ——半导体、集成电路和金刚石等行业高速全检,适用于理化试验室或车间现场。
产品参数
1、工作电源:220V/50Hz,3KW;
2、最大扫描范围: 500mm×330mm×100mm;图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;
3、整机尺寸:1250mm×850mm×1300mm;(标配)
4、探头频率范围:1~50MHz;(标配,可升级至230MHz);
5、图像推荐分辨率:0.5um ~ 4000um;
6、典型扫描耗时:≤35s (测试条件:扫描区域10mmX10mm,分辨率50um);
7、最大扫描速度:1000mm/s;最大扫描加速度:8m/s²;
8、运动台定位精度:X/Y向<±0.5um,Z向<±10um;重复定位精度:X/Y向<±0.01mm,Z向<±0.02mm。
9、采样频率:25~250MHz;(标配,可升级至1.5GHz);
10、每通道可调增益:-13~66dB;(标配,可升级);脉冲重复频率:5kHz;(标配,可升级)。


 
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